
国度常识产权局信息涌现,上海庆西自动化机电开采有限公司肯求一项名为“一种用于光学元件的多场耦合高精度刻蚀设施及安装”的专利,公开号CN121578423A,肯求日历为2025年12月。
专利纲目涌现,本发明提供一种用于光学元件的多场耦合高精度刻蚀设施及安装,属于光学制造技艺领域,设施包括:准备待刻蚀的光学元件与刻蚀液;进行酸洗前科罚;将酸洗前科罚后干燥的光学元件放入氢氟酸刻蚀槽中,加入刻蚀液,开动刻蚀关节,并通过交流兆声收场器的兆声频率精确匹配所需刻蚀深度、通过酸度计及时网罗pH值并在浓度下落时补充氢氟酸保证刻蚀液浓度、通过恒温轮回水控温系统和温度杀青温度收场;进行酸洗后科罚,赢得干燥的刻蚀色泽学元件。安装包括酸洗前科罚系统、兆声湿法刻蚀系统和酸洗后科罚系统。本发明通过多场协同控刻蚀,OD体育通过兆声、温度、浓度场耦合调控,刻蚀精度达±0.1μm、均匀性舛误≤±0.05%,远超现存技艺。
{jz:field.toptypename/}天眼查贵府涌现,上海庆西自动化机电开采有限公司,树立于2011年,位于上海市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册本钱100万东谈主民币。通过天眼查大数据分析,上海庆西自动化机电开采有限公司参与招投标技俩3次,此外企业还领有行政许可1个。
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作家:谍报员